Primus-HS 422/MGH 422
主要功能
● 采用經(jīng)典十字工作臺結(jié)構(gòu),Z軸獨(dú)立,保證了設(shè)備的高精度;
● 三軸都采用“燕尾”式導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),精密預(yù)載荷氣浮導(dǎo)軌,確保了設(shè)備精度穩(wěn)定性;
● 三軸都采用花崗巖材料,提高了設(shè)備的精度穩(wěn)定性;
● 采用增加柔性機(jī)構(gòu)的滾珠絲杠驅(qū)動,保證足夠驅(qū)動力同時減小了誤差;
● ≤0.05μm的光柵尺分辨率,為設(shè)備提供精密測量的保證;
● 具有恒溫功能的一體化防護(hù)罩殼,使得設(shè)備在不同外加環(huán)境下具備更高的精度;
● 支持多種測頭系統(tǒng)。
相關(guān)參數(shù)及技術(shù)指標(biāo)
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機(jī)型 |
測量范圍( mm) |
分辨率(μm) |
示值誤差E(μm) |
工作臺最大承重( kg) |
機(jī)器重量( kg) |
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Dx |
Dy |
Dz |
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Primus-HS 422 |
400 |
200 |
200 |
0.02 |
0.5+L/1000起 |
20 |
600 |
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售后服務(wù)
提供專業(yè)且高效的售后服務(wù)
確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和客戶的滿意度
